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产品先容

Crux 300 装备是拓�?????萍甲灾餮蟹⒓暇潮Р庾氨�,, ,, ,,,应用于混淆键合领域,, ,, ,,,适配W2W和D2W键合精怀抱测场景,, ,, ,,,可实现混淆键合后的套准精怀抱测,, ,, ,,,拥有高精度、高产能和无盲区量测三大特点 。 。。。。。。 。装备所有性能指标均已抵达海内同类产品水平 。 。。。。。。 。


产品特点
- 8英寸/12英寸晶圆适配
- 基于红外光透射式或反射式量测手艺
- W2W和D2W混淆键合场景兼容
- 小于3nm的超高量测精度和稳固性
- 最大300mm规模内无量测盲区
- 高吞吐量和低CoO


 
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