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产品先容

Lyra 300W / Lyra 300D 装备是拓�?????萍甲灾餮蟹⒕г布す獍胱氨浮�。。。。�?????捎τ糜谛枰傩刑囟ú阕瞥【盎虮【г脖趁婕庸さ某【�;;;;;激光剥离手艺能有用战胜暂时键合手艺中有机胶残留和耐温性差的问题, ,,,,,资助客户有用优化工艺本钱和前道兼容性。。。。。。


产品特点
- 8英寸/12英寸晶圆适配
- W2W和D2W键合场景适配
- 无机剥离层质料(耐高温)
- Carrier 层质料为 Si
- 光斑整形手艺, ,,,,,光斑匀称漫衍
- 光斑质量控制系统
- 携带激光加工能量自动赔偿系统


 
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