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产品系列
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产品先容
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产品先容：PF-300T Bianca 系列是九州酷游官网net自主研发的晶圆背部薄膜沉积装备（Backside Deposition）。。。 。。 。。。�？？？ ？ ？？？梢栽诰г脖趁娉粱齋iN、SiO 等介质薄膜质料，， ，，，通过应力调理实现对晶圆翘曲的纠正以及晶圆背面的保唬唬唬�；�。。。 。。 。。。该装备可以实现在不使用翻片工艺、不使用去边工艺的情形下对晶圆背面举行薄膜沉积，， ，，，镌汰集成电路制造的工艺办法、提升产品良率、降低客户本钱。。。 。。 。。。
产品特点
- 可兼容低温顺高温工艺，， ，，，高温可达550℃
- 高应力调理规模实现精准晶圆翘曲曲率控制
- 具备应力分区调理功效，， ，，，可无邪调理差别晶圆翘曲形态
- 具有优异的颗粒度和匀称性
- 薄膜去边宽度可定制化
- 通过S2清静认证和F47标准磨练
