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产品系列
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产品先容
产品先容
PF-300T Altair 系列是我公司自主研发的热原子层沉积（Thermal Atomic Layer Deposition）装备 ，，，，，，以高产能PEALD装备焦点手艺为基础 ，，，，，，针对响应薄膜沉积的特殊性 ，，，，，，对反应腔模浚浚浚浚浚块及要害部件优化设计 ，，，，，，实现本钱更低 ，，，，，，纯度更高的薄膜的沉积。。。。。。
- 理想的热原子层沉积系统
- 更快速的脉冲及吹扫 ，，，，，，实现更高的产能
- 精准的化学源剂量控制 ，，，，，，实现工艺恒久稳固性
- 奇异的温控设计 ，，，，，，实现更高纯度的薄膜
- 维护轻盈 ，，，，，，易耗件生命周期长 ，，，，，，洗濯本钱低
